Badania warstw HfO2 metodą AFM i metodami rentgenowskimi
- Afiliacje: ON3, ON3.4, SL1, SL1.1, SL1.3
- Data opublikowania (wydrukowania): 13-05-01
- Strony: 60-62
- Wolumin: 42 (8/9)
- Autor: Ciosek J., Pankowski Piotr, Pełka Jerzy, Paszkowicz Wojciech, Baczewski Lech
- Tytuł publikacji: Badania warstw HfO2 metodą AFM i metodami rentgenowskimi
- Rok: 2001
- Czasopismo / konferencja / monografia: Elektronika - Konstrukcje, Technologie, Zastosowania
Elektronika - Konstrukcje, Technologie, Zastosowania, 42 (8/9) (2001)
