Defect transformation study in silicon-on-insulator structures by high resolution X-ray diffraction
- Afiliacje: SL1, SL1.3
- Data opublikowania (wydrukowania): 01-02-01
- Strony: 35-37
- Wolumin: 4
- Autor: Popov V. P., Antonova I. V., Bąk-Misiuk Jadwiga, Domagała Jarosław Z.
- Tytuł publikacji: Defect transformation study in silicon-on-insulator structures by high resolution X-ray diffraction
- Rok: 2001
- Czasopismo / konferencja / monografia: Materials Science in Semiconductor Processing
Materials Science in Semiconductor Processing, 4 (2001)
