Effect of stress on defect transformation in hydrogen implanted silicon and SOI structures
- Afiliacje: SL1, SL1.3
- Data opublikowania (wydrukowania): 01-01-01
- Strony: 120-125
- Wolumin: 4412
- Autor: Antonova I. V., Popov V. P., Bąk-Misiuk Jadwiga, Domagała Jarosław Z., Misiuk A., Obodnikov V. I., Gutakovsky A. K., Romano-Rodriguez A.
- Tytuł publikacji: Effect of stress on defect transformation in hydrogen implanted silicon and SOI structures
- Rok: 2001
- Czasopismo / konferencja / monografia: Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering
Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 4412 (2001)
